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佐藤 嗣紀 and 廣瀬 智博 and 小幡 勤 and 豊田 紀章 and 山田 公,ガスクラスターイオンビームによるインプリントモールドの離型性向上,JSAP Annual Meetings Extended Abstracts,2436-7613,The Japan Society of Applied Physics,2011-08-16,2011.2,0,1137-1137,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390579852779493248,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_1137