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池口 大輔 and 桐野 嵩史 and 箕谷 周平 and 中野 佑紀 and 中村 孝 and 細井 卓治 and 志村 考功 and 渡部 平司,熱酸化SiO<sub>2</sub>/SiC構造における紫外線誘起欠陥の評価,JSAP Annual Meetings Extended Abstracts,2436-7613,The Japan Society of Applied Physics,2011-08-16,2011.2,0,3017-3017,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390579852780738816,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_3017