著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
松本 功,窒化物半導体MOVPEの高速化・大面積化,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2011-08-16,2011.2,0,89-89,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390579852781389824,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2011.2.0_89