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瀧口 峻介 and 大田 峻平 and 畝田 道雄 and 山本 悠子 and 宮下 忠一 and 石川 憲一,研磨装置のモータ負荷電流を用いた化学機械研磨における研磨レートと摩擦係数のリアルタイム同時予測,評価・診断に関するシンポジウム講演論文集,2424-3027,一般社団法人 日本機械学会,2022,2022.20,0,103,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390580063062118784,https://doi.org/10.1299/jsmesed.2022.20.103