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竹内 光明 and 龍頭 啓充 and 高岡 義寛,多原子分子イオンビームによるシリコン基板への炭素注入,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2010-08-30,2010.2,0,1464-1464,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390580561433137024,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_1464