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上西 悠介 and 箕谷 周平 and 中野 祐紀 and 中村 孝 and 細井 卓治 and 志村 孝功 and 渡部 平司,SiC熱酸化膜の信頼性低下を引き起こす外的要因の検討,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2010-08-30,2010.2,0,3320-3320,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390580561434448640,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2010.2.0_3320