著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
井殿 舜登 and 大島 政明 and 山田 純平 and 藤 大雪 and 山内 和人 and 佐野 泰久,サブ大気圧SF<sub>6</sub>プラズマによるSiCウエハのダイシング加工,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2023-08-31,2023A,0,305-306,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390580793828652288,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023a.0_305