著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 永井 泰稀 and 田村 麟太郎 and 西村 星哉 and 牛田 晃臣 and 原 圭祐 and 川村 拓史 and 磯部 浩已,脱イオン水および研削液中のウルトラファインバブルの安定性に超音波振動が与える影響,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2023-08-31,2023A,0,780-781,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390580793828890880,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2023a.0_780