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田口 美里 and 高橋 亮蔵 and 加藤 薫子 and 楠野 順弘 and 三木 拓司 and 永田 真,量子コンピュータ向けフリップチップシリコンインターポーザの極低温評価,,1881-0217,,2024-04-01,J107-C,4,175-181,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390581070826588800,https://doi.org/10.14923/transelej.2023jcp5008