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林 俊太郎 and 黒河 周平 and 林 照剛 and 檜山 浩國 and 和田 雄高 and 半田 直廉,CMPにおける砥粒挙動に着目した研磨機構の解明,日本機械学会九州支部講演論文集,2424-2780,一般社団法人 日本機械学会,2022,2022.75,0,H17,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390585803080259456,https://doi.org/10.1299/jsmekyushu.2022.75.h17