書誌事項
- タイトル別名
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- Clarification of Polishing Mechanism Focusing on Abrasive Particle Behavior in CMP
- －研磨レートの異なるパッドの負荷曲線の調査と研磨モデルの提案－
- -Investigation of the Abbott Firestone curve of pads with different polishing rates and proposal of a polishing model-
収録刊行物
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- 日本機械学会九州支部講演論文集
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日本機械学会九州支部講演論文集 2022.75 (0), H17-, 2022
一般社団法人 日本機械学会
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1390585803080259456
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- ISSN
- 24242780
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- JaLC
- Crossref
