著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
伊藤 俊樹,半導体製造用ナノインプリントシステム,応用物理,03698009,公益社団法人 応用物理学会,2019-01-10,88,1,31-35,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390845702281182208,https://doi.org/10.11470/oubutsu.88.1_31