著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 石田 誠 and 一木 隆範 and 井谷 俊郎 and 上野 和良 and 浦岡 行治 and 小田 俊理 and 小田中 紳二 and 小野 崇人 and 金田 千穂子 and 坂本 邦博 and 芝原 健太郎 and 新宮原 正三 and 須田 良幸 and 高橋 庸夫 and 高村 禅 and 辰巳 哲也 and 鳥海 明 and 羽根 一博 and 久本 大 and 平本 俊郎 and 廣瀬 和之 and 松井 真二 and 水野 文二 and 宮崎 誠一 and 森 伸也,シリコン技術,応用物理,03698009,公益社団法人 応用物理学会,2010-08-10,79,8,691-693,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390845702287416832,https://doi.org/10.11470/oubutsu.79.8_691