著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
杉本 眞生,半導体プロセスと電気化学 (2) 2.半導体デバイスにおける配線金属の腐食,電気化学および工業物理化学,13443542,公益社団法人 電気化学会,1987-08-05,55,8,586-589,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390845702292901376,https://doi.org/10.5796/kogyobutsurikagaku.55.586