著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 藤野 真久,三次元積層のための接合技術,表面と真空,24335835,公益社団法人 日本表面真空学会,2019-11-10,62,11,672-675,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390845702321603584,https://doi.org/10.1380/vss.62.672