著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
山田 洋平 and 池野 順一 and 野口 仁 and 鈴木 秀樹,MgOウエハのレーザスライシング加工に関する研究,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2018-03-01,2018S,0,177-178,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390845712993300224,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2018s.0_177