著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 新國 広幸 and 伊藤 浩,フォトリソグラフィを用いたMOEMS技術の教材開発,東京工業高等専門学校研究報告書,02860503,独立行政法人 国立高等専門学校機構 東京工業高等専門学校,2018,45,2,73-80,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390845713014756608,https://doi.org/10.24606/tncttosho.45.2_73