著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 半澤 将希 and 大日向 秀収 and 川野 伸一 and 赤松 允顕 and 酒井 健一 and 酒井 秀樹,炭酸アルキレンによるフォトレジストの剥離機構:水とプルロニック系界面活性剤の添加効果,色材協会誌,0010180X,一般社団法人 色材協会,2019-06-20,92,6,181-185,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390845713080581248,https://doi.org/10.4011/shikizai.92.181