著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 山岡 雅直,CMOSアニーリングマシン,表面と真空,24335835,公益社団法人 日本表面真空学会,2020-03-10,63,3,123-128,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390846609810726784,https://doi.org/10.1380/vss.63.123