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JEONG Sungho and YEO In-Kyu and LIM Hyun-Taeck and KIM Joohan,フェムト秒レーザー支援エッチングにおけるエッチャント加熱の効果,レーザー研究,03870200,一般社団法人 レーザー学会,2014,42,6,472,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390848647544413312,https://doi.org/10.2184/lsj.42.6_472