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河内 俊憲 and 青山 翼 and 永田 靖典 and 柳瀬 眞一郎,半導体洗浄装置内に発生する大規模渦構造の制御について,中国四国支部総会・講演会 講演論文集,2424-2764,一般社団法人 日本機械学会,2020,2020.58,0,05b5,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390848647552693248,https://doi.org/10.1299/jsmecs.2020.58.05b5