著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
郭 建麗 and 松澤 雄介 and 三村 秀和,アクリル定盤と水によるガラス表面の平坦化,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2020-03-01,2020S,0,650-651,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390848647555224192,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2020s.0_650