著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
新井 健太,真空用ナイフエッジ型フランジに関する規格の現状,日本表面真空学会学術講演会要旨集,2434-8589,公益社団法人 日本表面真空学会,2020,2020,0,95,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390849931315517056,https://doi.org/10.14886/jvss.2020.0_95