著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) FUJIE Sayaka and ITO Akihiko,Precursor selection for metal–organic chemical vapor deposition of SrHfO3 films with Sr(dpm)2 and Sr(hfa)2,Journal of the Ceramic Society of Japan,1882-0743,公益社団法人 日本セラミックス協会,2021-01-01,129,1,17-21,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390849931318626432,https://doi.org/10.2109/jcersj2.20157