著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
杉浦 宗男 and 田村 耕一 and 小檜山 光信,膜応力による基板の反りの定量的計算について,表面技術,09151869,一般社団法人 表面技術協会,2020-10-01,71,10,601-606,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390850490578800896,https://doi.org/10.4139/sfj.71.601