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小西 佑基 and 諏訪部 仁 and 石川 憲一 and 高橋 真裕子,ダイヤモンドワイヤソーにおける酸化促進剤を添加した加工液を用いたシリコンの切断特性,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2021-03-03,2021S,0,295-296,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390852204636524416,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2021s.0_295