著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 髙倉 優 and 越谷 翔悟 and 村野 孝訓 and 髙橋 秀之,軟X線発光分光器の開発と材料分析事例,表面と真空,24335835,公益社団法人 日本表面真空学会,2021-11-10,64,11,510-514,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390852956485718400,https://doi.org/10.1380/vss.64.510