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西田 貴司 and 松澤 杏美 and 大賀 直哉 and 小野 淳之佑 and 田中 響 and 渡邉 力 and 井上 瑞基,改良型スパッタ法による強誘電体メモリ材料ナノ結晶の形成,日本表面真空学会学術講演会要旨集,2434-8589,公益社団法人 日本表面真空学会,2021,2021,0,3Ba07,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390853443032020480,https://doi.org/10.14886/jvss.2021.0_3ba07