著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
市川 武志 and 喜内 文晃 and 保田 洋志 and 福永 守高 and 山田 敏郎 and 古野 一裕 and 横山 敦士 and 大下 隆 and Ichikawa Takeshi and Kinai Fumiaki and Yasuda Hirosi and Fukunaga Moritaka and Yamada Toshiro and Furuno Kazuhiro and Yokoyama Atsushi and Ooshita Takashi,ワイヤーソー切削条件がシリコンウエハWarp量に及ぼす影響,精密工学会学術講演会講演論文集 = 2003 JSPE Spring Meeting,,精密工学会 = The Japan Society for Precision Engineering,2003,2003 Spring,F32,235,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390853649890873088,https://doi.org/10.24517/00050318