著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI)
影島 博之 and 秋山 亨 and 白石 賢二 and 植松 真司,シリコン原子はどこへ行く？ まだまだ不思議な熱酸化,応用物理,03698009,公益社団法人 応用物理学会,2022-03-01,91,3,155-159,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390854717431714688,https://doi.org/10.11470/oubutsu.91.3_155