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井上 時生 and 門屋 祥太郎 and 道畑 正岐 and 高橋 哲,ファブリーペロー干渉計を用いたマイクロCMMのプローブ径補正用ゲージの研究（第2報）,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2021-09-08,2021A,0,552-553,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390854717486573056,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2021a.0_552