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郭 建麗 and 松澤 雄介 and 三村 秀和,アクリル定盤と水によるシリコンウエハー表面の平坦化,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2021-09-08,2021A,0,121-122,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390854717490756736,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2021a.0_121