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山本 望 and 濱地 威明 and 林 侑介 and 藤平 哲也 and 三宅 秀人 and 酒井 朗,N-PSS上スパッタ堆積アニールAlNテンプレートに成長させたAlN厚膜の微細構造解析,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2020-08-26,2020.2,0,2038-2038,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390854882571344768,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_2038