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安岡 慎之介 and 清水 荘雄 and 上原 雅人 and 山田 浩志 and 秋山 守人 and 舟窪 浩,スパッタリング法で室温合成した(Al<sub>1-<i>x</i></sub>Sc<i><sub>x</sub></i>)N膜の強誘電性評価,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2020-08-26,2020.2,0,886-886,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390854882571591936,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_886