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村瀬 幹生 and 吉村 武 and 藤村 紀文,スパッタ法におけるPZT薄膜の成長機構の検討Ⅱ,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2020-08-26,2020.2,0,874-874,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390854882594763392,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2020.2.0_874