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菊地 理沙 and 村瀬 幹生 and 吉村 武 and 藤村 紀文,スパッタ法におけるBiFeO<sub>3</sub>薄膜の成長機構の検討,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2021-02-26,2021.1,0,1179-1179,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390855422502503424,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1179