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大久保 勇男 and 侯 柱锋 and Jiyeon N. Lee and 相澤 俊 and Mikk Lippmaa and 知京 豊裕 and 津田 宏治 and 森 孝雄,機械学習を活用したclosed-loop optimizationによるエピタキシャルTiN薄膜成長と超伝導特性,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2021-02-26,2021.1,0,1341-1341,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390855422518747264,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_1341