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根本 一正 and 田中 宏幸 and 酒井 孝昭 and 鍛冶倉 惇 and 楊 振 and クンプアン ソマワン and 原 史朗,ミニマルファブでの利用を可能とする多種多様なハーフインチウェハの開発,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2021-02-26,2021.1,0,2310-2310,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390855422518924672,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2310