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藤井 厚志 and 押村 遼太 and 草場 崇史 and 倉井 聡 and 室谷 英彰 and 上杉 謙次郎 and 三宅 秀人 and 山田 陽一,Face-to-faceアニール処理されたスパッタ成膜AlNテンプレート上AlGaN系多重量子井戸構造の内部量子効率,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2021-02-26,2021.1,0,2625-2625,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390855422526785792,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2021.1.0_2625