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井口 航平 and 岩崎 渉 and 森田 伸友 and 伊藤 高廣 and 村上 直,AlN膜の結晶性と弾性表面波デバイスの特性に関する研究,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2022-03-02,2022S,0,284-285,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390856229465983104,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022s.0_284