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藤岡 洋 and 櫻井 悠也 and 上野 耕平 and 小林 篤,AlGaN系窒化物スパッタエピプロセスの開発,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2018-09-05,2018.2,0,265-265,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390856384291512064,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_265