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松川 貴 and 森 貴洋 and 澤田 佳宏 and 木下 洋平 and 柳 永勛 and 昌原 明植,リン固相拡散ドーピングを導入したFinFETの寄生抵抗の評価,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2018-09-05,2018.2,0,2937-2937,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390856384291807104,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_2937