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上野 耕平 and 柴原 啓太 and 小林 篤 and 藤岡 洋,パルススパッタ堆積法による高電子移動度n型GaN薄膜の成長と評価,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2018-09-05,2018.2,0,3252-3252,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390856384292059264,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_3252