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沈 旭強 and 児島 一聡 and 清水 三聡 and 奥村 元,アンモニアフリー有機金属気相成長法における高温AlN成長,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2018-09-05,2018.2,0,3282-3282,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390856384292105984,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2018.2.0_3282