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佐野 光雄 and 小幡 進 and 田嶋 尚之 and 浮田 康成 and 樋口 和人 and 松本 歩 and 八重 真治,金属援用エッチングを用いたSiの微細加工における高分子添加剤による欠陥抑制,Journal of Smart Processing,2186-702X,一般社団法人 スマートプロセス学会 （旧高温学会）,2022-09-10,11,5,239-245,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390856583391174144,https://doi.org/10.7791/jspmee.11.239