著者名,論文名,雑誌名,ISSN,出版者名,出版日付,巻,号,ページ,URL,URL(DOI) 堀田 将也 and 長谷川 雄一 and 小川 大輔 and 中村 圭二 and スーナム パーク and ディマ ルボミルスキー and 小林 理 and 菅井 秀郎,円筒キャビティによるマイクロ波プラズマ生成の密度分布制御,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2017-03-01,2017.1,0,1710-1710,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390857136567331200,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_1710