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菊池 亜紀応 and 八尾 章史 and 毛利 勇 and 小野 崇人 and 寒川 誠二,中性粒子ビームエッチング技術によるシリコンナノピラー-SiGe<sub>0.3</sub>複合膜の作製と熱伝導率の評価,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2016-09-01,2016.2,0,1816-1816,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390858131657738368,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1816