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若狭 智仁 and 谷口 淳,微細線構造レプリカモールドを用いた低濃度離型処理時のUV-NIL転写回数の寿命予測,精密工学会学術講演会講演論文集,,公益社団法人 精密工学会,2022-08-25,2022A,0,101-102,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390858209188785280,https://doi.org/10.11522/pscjspe.2022a.0_101