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古矢 智也 and 松村 隆志 and 菊地 健介 and 鈴木 雄大 and 鈴木 摂 and 石橋 啓次 and 山本 康博,TEOS 導入によるMOCVD 法CeO<sub>2</sub> 薄膜の結晶化抑制,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2016-03-03,2016.1,0,1427-1427,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390858397087020672,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1427