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西中 淳一 and 谷保 芳孝 and 赤坂 哲也 and 熊倉 一英,無極性m面AlN基板上へのAlNの流量変調エピタキシ,応用物理学会学術講演会講演予稿集,2436-7613,公益社団法人 応用物理学会,2016-03-03,2016.1,0,3477-3477,https://cir.nii.ac.jp/crid/1390858397088539520,https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_3477